客員教授：小柳先生の略歴
略歴
- 1974年
- 東北大学大学院工学研究科博士課程（工学博士）修了
(株)日立製作所中央研究所入社 - 1985年
- 米国ゼロックス社パロアルトリサーチセンター入社
- 1988年
- 広島大学集積化システム研究センター教授
- 1996年
- 東北大学工学部機械知能工学科教授
- 1997年
- 東北大学大学院工学研究科機械知能工学専攻教授
- 1998年
- 東北大学ベンチャービジネスラボラトリー長
- 2003年
- 東北大学大学院工学研究科バイオロボティクス専攻教授
- 2008年
- 東北大学ディスティングイッシュトプロフェッサー
- 2010年
- 東北大学未来科学技術共同研究センター教授
- 2013年
- 東北大学3次元LSI試作製造拠点（GINTI）拠点リーダー
- 2016年
~現在 - 東北大学未来科学技術共同研究センター
シニアリサーチフェロー(名誉教授職)
主要な受賞
- 大河内記念技術賞（1992）
- SSDM Award (International Conf. on Solid State Devices and Materials)（1994）
- IEEE Cledo Brunetti Award（1996）
- 文部科学大臣賞(科学技術功労者)（2002）
- 応用物理学会光電子集積化技術業績賞（林厳雄賞）（2004）
- IEEE Jun-ichi Nishizawa Medal（2006） (※2) [資料]
- 紫綬褒章（2011）
- IEEE ESP 3DIC Pioneering Award（2015） [資料] (※1)
- 瑞宝中綬章（2020）
- IEEE Electronics Packaging Award（2020） [資料] (※1)
補足
※1：3次元積層の発表が最初であることに関する表彰
※2：DRAM用3次元スタックドキャパシタ型メモリセルの発明(IEEE medalの2015年までは日本人受賞者34名)
3DIC発表
- 三次元集積回路の概念発表（1989年）
3D-IC世界初最初の発表
M. Koyanagi, “Roadblocks in Achieving Three-Dimensional LSI”, Proc. 8th Symposium on Future Electron Devices, pp.50-60, 1989.
- Si-TSV(シリコン貫通配線)の作成成功（1995年）論文
- 三次元イメージセンサ（1999 年）論文
- 三次元共有メモリ（2000年）論文
- 三次元人工網膜チップ（2001 年）論文
- 三次元マイクロプロセッサ（2002 年）論文
- 2005年に10層積層チップを発表
関連新聞記事
- チップ１０層 立体ＬＳＩ 厚さ0.3ミリ（朝日新聞 2005年12月28日）
- チップ積み上げＬＳＩ 東北大が新手法（日本経済新聞 2005年12月23日）
- 三次元集積回路を開発（毎日新聞 2005年12月23日）
- ３次元ＬＳＩを試作 積層構造で高速処理（河北新報 2005年12月23日）
DRAMメモリセルの発表
1978年に試作成功したメモリセルの断面写真
紫綬褒章、IEEE medal受賞理由
インフォメーション
